位置和位移檢測(cè)傳感器用于測(cè)量機(jī)電一體化執(zhí)行機(jī)構(gòu)中的機(jī)械運(yùn)動(dòng)和位移,并將其轉(zhuǎn)換為電信息。在機(jī)電一體化設(shè)備的開(kāi)環(huán)伺服系統(tǒng)中,此信息用作數(shù)字顯示及誤差補(bǔ)償;而在閉開(kāi)伺服系統(tǒng)中,此信息則作為反饋信號(hào)與給定指令信息進(jìn)行比較后實(shí)現(xiàn)閉環(huán)數(shù)字控制,是整個(gè)系統(tǒng)不可缺少的組成部分。 位置和位移檢測(cè)傳感器種類很多,一般使用廣泛的有機(jī)械式微動(dòng)開(kāi)關(guān)、電氣式傳感元件感應(yīng)同步器以及光學(xué)式傳感元件光柵等。這些都是位移傳感器的小分支,作為位移的檢測(cè)它們都起到?jīng)Q定性作用。
位移傳感器中微動(dòng)開(kāi)關(guān)是指接點(diǎn)間隔小于3.2mm,具有快速動(dòng)作機(jī)構(gòu),靠接觸力直接操縱的開(kāi)關(guān)。通常接點(diǎn)的開(kāi)斷速度與操作速度無(wú)關(guān),因此,重復(fù)精度較高。微動(dòng)開(kāi)關(guān)大體上由將外力傳人內(nèi)部機(jī)構(gòu)的動(dòng)作部、用導(dǎo)電彈簧材料制成的聯(lián)動(dòng)機(jī)構(gòu)部、保持電路可靠開(kāi)閉的接點(diǎn)部絕緣完體及引線端子所組成。這是一種簡(jiǎn)單而可靠的二值位置檢測(cè)傳感器。而光柵位移傳感器是一種能將直線位移或角位移轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào)的轉(zhuǎn)換裝置,它由光源、光柵和光電元件等組成。光柵是光柵位移傳感器的主要組成部分,它主要由標(biāo)尺光柵(長(zhǎng)光柵)和指示光柵(短光柵)組成。當(dāng)標(biāo)尺光柵相對(duì)于指示光柵移動(dòng)時(shí),形成的莫爾條紋產(chǎn)生明暗交替變化,利用裝在指示光柵一側(cè)的光電元件(光電池或光敏晶體管)將莫爾條紋明暗變化的光信號(hào)轉(zhuǎn)換成電脈沖信號(hào),從而測(cè)量出運(yùn)動(dòng)部件的移動(dòng)距離。還有一種位移檢測(cè)就是感應(yīng)同步器,它是一種高精度的位移檢測(cè)元件,它利用兩個(gè)平面形繞組的互感隨位移而變化的原理,把位移或轉(zhuǎn)角變?yōu)殡娦盘?hào),以進(jìn)行位移檢測(cè)或反饋控制。當(dāng)然有一種是角位移的檢測(cè),角位移檢測(cè)一般使用旋轉(zhuǎn)編碼器,它將機(jī)械傳動(dòng)的模擬量轉(zhuǎn)換成旋轉(zhuǎn)角度的數(shù)字信號(hào),進(jìn)行角位移檢測(cè)的傳感器。目前使用較多的有電刷式、光電式和電磁式等。
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