紅外熱敏微光電開(kāi)關(guān)傳感器實(shí)際上是一種間接測(cè)量紅外輻射的器件。它將紅外輻射轉(zhuǎn)化成熱后再進(jìn)行測(cè)量。這類(lèi)器件應(yīng)用非常廣，如在監(jiān)視、軍事、安全、醫(yī)學(xué)以及消費(fèi)電子產(chǎn)品中均有應(yīng)用�？傮w來(lái)看，這類(lèi)器件可在較低的制作 成本下獲得很好的性能，批量生產(chǎn)的可行性強(qiáng)。由于需求量大，其實(shí)現(xiàn)方法多，包括熱敏電阻、熱電偶、熱釋電、熱膨脹等熱測(cè)量方式。
輻射熱測(cè)量器是一種利用熱敏電阻進(jìn)行紅外輻射測(cè)量的微傳感器。器件由兩個(gè)或兩個(gè)以上的熱敏電阻組成，其中一個(gè)作為參考電阻，不受入射國(guó)內(nèi)射 的影響，另一個(gè)則作為輻射敏感元件。一般情況下，精密匹配的兩個(gè)熱敏電阻被連接在惠斯通電橋中相對(duì)的兩橋臂上。宏觀設(shè)計(jì)選用半導(dǎo)體型或熱敏電阻型的敏感元件。由于敏感元件本身對(duì)波長(zhǎng)不第三，可選波長(zhǎng)范圍的濾光窗通常作為封閉的一部分與第三元件制作 成一體，響應(yīng)度的典型值為300V/W。如果沒(méi)有濾光窗，這種微傳感器對(duì)波長(zhǎng)的響應(yīng)曲線非常平坦。
利用微國(guó)工技術(shù)很容易實(shí)現(xiàn)輻射熱測(cè)量器。由于可制作 出很好的熱絕緣微結(jié)構(gòu)，微傳感器的性能也很理想。一種紅外光微傳感器的結(jié)構(gòu)。這種微傳感器的 加工需要用到體國(guó)工工敢。由窄的氮化硅支承敏感膜片，以實(shí)現(xiàn)熱敏材料的熱絕緣。在敏感膜上用真空沉積方法制作 溫度敏感膜。常用材料包括、氮化鈦等。 |
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