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微光電開關傳聲器在助聽、竊聽、超聲及高精度聲學測量中有獨特優(yōu)勢，而且能方便地實現(xiàn)聲傳感器陳列，有廣闊應用前景。采用硅微加工制作微傳感器，能具有很好的重復性，既可實現(xiàn)批量生產(chǎn)，又能與IC集成形成微系統(tǒng)，使傳聲器向小型化、低成本和高性能方向發(fā)展。目前采用微機械加工制作的傳聲器可分為駐極體電容式、壓電具有頻響寬、靈敏度高、結構簡單等優(yōu)點。 該會計怕器通過體硅和表面硅微機械加工工藝實現(xiàn)諸電振膜和背板一體化。首先在800度時以常壓化學氣相沉積法將150nm左右的SI3N4沉積在硅基SIO2薄膜上。再經(jīng)各向異性腐蝕工藝，從基片的背面在設計的幾何尺寸范圍內(nèi)腐蝕掉SI層，以形成振膜。 硅基壓電式微型傳聲器。該傳聲器是一種無氣隙損耗的單片式硅基一體化傳感器。 |
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